三星在本周三发布的新闻稿中宣布,全球第一个采用极紫外光(EUV)微影设备的 7 纳米 LPP(Low Power Plus)制程,已准备好于 2018 下半年投产。三星的目标很明确,就是成为未来先进运算与物联网芯片生产技术的领导者,并进而分食台积电的晶圆代工订单。
尽管外界看好台积电在 7 纳米制程竞赛仍居领先地位,但三星将是第一个在 7 纳米制程导入 EUV 微影技术并成功量产的晶圆代工厂,为下一世代制程反超前台积电奠定基础。三星在新闻稿同时预告 5 纳米、4 纳米与 3 纳米制程的开发计划。
其中,5nm LPE工艺相较于7nm LPP,会进一步缩小芯片核心面积,带来更低的功耗;4nm LPE/LPP将会成为三星最后一次在芯片上使用FinFET技术,进步压缩芯片面积。3nm GAAE/GAAP则采用了全新的GAA(Gate-All-Around,环绕栅极)纳米技术,需要重新设计晶体管底层结构,克服当前技术的物理、性能极限,增强栅极控制,性能大大提升。